لقد تم تحسين دقة المعالجة لأدوات آلة قطع المعادن CNC من مستوى السلك الأصلي (0.01 مم) إلى مستوى الميكرون (0.001 مم)، وقد وصلت بعض الأصناف إلى حوالي 0.05μm. بالنسبة للقطع الدقيق والطحن لأدوات ماكينات CNC فائقة الدقة-، يمكن أن تكون الدقة ثابتة حوالي 0.05 ميكرومتر، ويمكن أن تصل دقة الشكل إلى حوالي 0.01 ميكرومتر. يمكن أن تصل دقة المعالجة الخاصة باستخدام مصادر الضوء والكهرباء والكيماويات وغيرها من مصادر الطاقة إلى مستوى النانومتر (0.001 ميكرومتر). من خلال تحسين تصميم هيكل أداة الآلة، والتشطيب الفائق-والتجميع الدقيق لأجزاء أداة الآلة، واستخدام -الدقة الكاملة-المغلقة-التحكم في الحلقة وتقنية تعويض الأخطاء الديناميكية مثل درجة الحرارة والاهتزاز، وتحسين الدقة الهندسية لمعالجة أداة الآلة، وتقليل خطأ الشكل والموضع، وخشونة السطح، وما إلى ذلك. ، وذلك للدخول في عصر التشطيب الفائق-الميكرون والنانو-التشطيب الفائق.
